Neues Prozess-Tool zur Inspektion von Probe Cards stößt in der Halbleiterbranche auf positive Resonanz

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Erfolgreicher Produkt-Launch von NanoFocus

Pressemeldung der Firma NanoFocus AG

Die NanoFocus AG hat im Mai und Juni 2016 erstmal das neue Messsystem µsprint hp-opc 3000 für die optische Inspektion von Probe Cards in der Waferproduktion vorgestellt. Im Rahmen der Fachtagungen IS-Test Workshop in München und dem SWTW in San Diego (USA) wurde die Präsentation des Messsystems von einem breiten, internationalen Fachpublikum mit großem Interesse aufgenommen.

µsprint hp-opc 3000 wird für die Inspektion von Probe Cards, speziellen Test-Vorrichtungen bei Funktionstests von Wafern, eingesetzt. Da die Prüfvorgänge erst nach vollständiger Herstellung der funktionalen Strukturen auf den Wafern stattfinden können, stellen Beschädigungen während des Testvorgangs einen erheblichen wirtschaftlichen Schaden dar.

Das µsprint hp-opc 3000 Inspektionssystem ermöglicht an dieser Stelle einen neuartigen und zukunftsweisenden Prozessschritt. Das Messsystem stellt die Unversehrtheit von Wafern nach dem Testvorgang sicher und trägt damit entscheidend zur Reduzierung operativer Kosten, Minimierung von Yield-Verlusten und Qualitätssteigerung in der Waferproduktion bei.

„Wir freuen uns über das positive Feedback der Branchenexperten. Es zeigt uns, dass wir mit dem µsprint hp-opc 3000 eine passgenaue Antwort auf aktuelle Anforderungen und Erwartungen von Wafer-Produzenten liefern“, sagt Martin Kunz, Leiter der Business Unit Semiconductor bei NanoFocus. Besonders deutlich wurden das Potenzial und die Vorteile des Tools beim Einsatz in größeren Wafertest-Standorten mit hohem Durchsatzvolumen und beim Herstellungsprozess von Probe Cards erkannt. Ebenso wurde die hohe Kompatibilität zu bestehenden Probe Card Prüfprozessen sehr positiv aufgenommen.

Eine Pilotanlage befindet sich bereits bei einem namhaften Hersteller von Halbleiterelementen erfolgreich im Einsatz. Weitere Aufträge werden für das 3. Quartal 2016 erwartet.



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Als Spezialist für industrielle 3D-Messtechnik verfügt die Oberhausener NanoFocus AG über 20 Jahre Erfahrung in der Messung und Analyse technischer Funktionsoberflächen in der Mikro- und Nanodimension. Das Unternehmen entwickelt, produziert und vertreibt optische Oberflächenanalysesysteme für den Einsatz vom Labor bis zur Inline-Produktionskontrolle. Auf die wirtschaftlichen und flexiblen Lösungen vertrauen namhafte Anwender in nahezu allen Branchen - von der Automobil-, Elektronik- und Halbleiterindustrie über die Medizintechnik sowie Mikro- und Nanotechnologie bis hin zu Forschungsinstituten und Universitäten. Die weltweit installierten 3D-Messsysteme ermöglichen den Anwendern verkürzte Entwicklungszeiten, sichere Qualitätskontrollen und zuverlässige Prozesssteuerungen. www.nanofocus.de


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